描述
关键技术规格
· 光源类型: 双频氦氖激光
· 测量精度: 亚纳米级
· 核心特性: 高精度、稳定性强、低漂移
· 测量方式: 非接触式干涉测量
· 典型应用: 半导体制造、精密计量、CNC控制
· 扩展应用: 光学元件检测、航空航天、生物医学
· 结构形式: 激光头 / 控制器模块
· 兼容系统: 白光干涉仪、轮廓测量仪
产品深度介绍
ZYGO 7702 BH5-6314 是一款高精度的双频氦氖激光干涉测量光源,主要作为核心组件应用于精密测量仪器和位移跟踪系统。它通过非接触式干涉测量技术,为半导体制造、高端数控机床及光学检测提供可靠的位置反馈。该激光头具备极强的稳定性和极低的漂移率,能够实现亚纳米级的长度与形貌测量。在光刻机对准和晶圆定位等苛刻工况下,其高精度特性有效减少了加工误差,保障了生产的一致性。
核心卖点与差异化
· 亚纳米级精度:采用双频氦氖激光技术,满足半导体与量子物理等前沿领域的严苛测量需求。
· 极低漂移率:光源稳定性强,确保长时间连续测量时的数据一致性,减少停机校准时间。
· 广泛兼容性:适用于白光干涉仪、轮廓测量仪及各类高端CNC设备的位置反馈系统。
· 严格质检流程:所有现货均经过外观检查与上机通讯测试验证,确保模块性能达标。
常见问题 FAQ
Q1: 7702 BH5-6314 激光头主要用在哪些行业?
A: 该型号广泛应用于半导体制造(如光刻机对准)、精密计量实验室、高端CNC机床位置反馈以及航空航天部件检测等领域。Q2: 上机测试包含哪些具体环节?
A: 我们的SOP流程包括:通电自检、通讯测试、I/O全量程测试以及24小时负载运行。测试完成后会生成专属报告随货提供。Q3: 如果现场出现静电损伤风险该如何规避?
A: 模块在包装时已使用防静电袋与气泡膜防护。现场安装时,请务必佩戴防静电手环,并在断电状态下进行插拔操作。




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