MKS 979B-01-0013 | 半导体级真空压力测量模块

关键技术规格

产品类型: 电容薄膜真空计
测量原理: 电容薄膜技术
适用工艺: PVD, CVD, ALD, 蚀刻
耐腐蚀性: 高 (适用于腐蚀性工艺环境)
测量精度: 行业标杆级 (以原厂手册为准)
长期稳定性: 优异
系统兼容性: 兼容 Baratron 系列控制器
产品定位: 高端半导体制造、薄膜沉积
原产地: 美国

产品深度介绍

MKS 979B-01-0013 是一款专为严苛工业环境设计的高性能电容薄膜真空计。作为 MKS Baratron 979B 系列的核心型号，它主要用于需要极高精度和长期稳定性的真空压力测量场景。在半导体制造和薄膜沉积工艺中，压力控制的微小偏差都可能导致良率下降。该型号真空计在中低真空段表现出极高的稳定性，常被用作工艺控制的基准点。实测数据显示，在 PVD 和 CVD 等应用中，其长期漂移率远低于普通皮拉尼规，能有效减少因真空度波动导致的停机时间。

核心卖点与差异化

高精度测量: 精度和长期稳定性符合行业标杆水平，满足高端 Fab 厂的严苛要求。
强耐腐蚀性: 在蚀刻等苛刻工艺场景中，相比同类竞品具有不可替代的技术优势。
全系兼容: 完美兼容 MKS Baratron 系列控制器，降低系统集成难度。
质保承诺: 提供 12 个月质保，上机测试合格后方可发货。
现货供应: 常规型号备有现货，缩短产线等待时间。