Zygo 7702 8070-0102-35 | 多轴干涉仪测量卡 | 纳米级计量系统集成方案

描述

关键技术规格

• 产品型号: 7702 8070-0102-35
• 制造商: Zygo Corporation
• 所属系统: Zygo 7700/7702 系列多轴激光干涉仪测量平台
• 信号输入通道数: 支持最多 4 路独立干涉信号输入（取决于系统配置）
• 分辨率: 可达 λ/1024（HeNe 激光波长下约 0.6 nm）
• 输出接口: 并行 TTL 位移脉冲 + 方向信号，兼容标准计数器或运动控制器
• 采样速率: 典型值 ≥ 100 kHz 每通道（取决于信号质量与电缆长度）
• 电源要求: +5 VDC ±5%，典型功耗 2.8 W
• 安装形式: 标准 Eurocard 尺寸（6U），用于 Zygo 7702 机箱背板插槽
• 工作环境: 15°C – 30°C，相对湿度 < 60%，无凝露

功能定位与应用场景分析

Zygo 7702 8070-0102-35 是 Zygo 高端激光干涉测量系统中的关键信号处理模块，专为需要亚微米乃至纳米级位移反馈的精密制造与计量场景设计。该卡接收来自 Zygo 外差式干涉光学头（如 7012、7014 系列）的正交相位信号，通过高速数字解调算法实时计算出目标镜的绝对位移，并以高速脉冲流形式输出，供运动控制系统实现闭环精密定位。它解决了在光刻设备校准、超精密机床反馈、计量实验室基准比对等应用中“如何将光学干涉信号可靠、低延迟地转化为可用位置数据”的核心问题。

典型应用场景包括：

• 场景一：用于半导体光刻机平台的 XYθ 工作台闭环控制，提供纳米级实时位置反馈
• 场景二：作为国家计量院或第三方校准实验室的基准干涉仪核心组件，用于校准高精度光栅尺或电容传感器
• 场景三：用于已部署十余年的 Zygo 7702 系统的关键备件替换，确保老旧计量设备持续满足 ISO/IEC 17025 校准要求

质量标准与测试流程

在纳米级计量领域，信号处理卡的任何漂移、噪声或相位误差都会直接导致测量失准。因此，我们对每一枚 7702 8070-0102-35 执行基于真实光学回路的全功能验证：

• 外观与清洁：模块在 Class 10,000 洁净环境下拆封，使用无纤维布与电子级溶剂清洁 PCB，检查 FPGA、ADC 芯片及连接器无物理损伤或焊点裂纹。
• 上机实测：模块安装于原装 Zygo 7702 机箱，连接真实 HeNe 激光源与 7012 干涉头，构成完整光学回路，在恒温实验室中进行不少于 8 小时的连续位移跟踪测试。
• 功能诊断：通过 Zygo MetroPro 或专用诊断软件，注入标准位移指令（如 10 μm 正弦扫描），验证输出脉冲数、方向逻辑、非线性误差（< ±1 nm）及通道间同步性；同时测试抗振动干扰能力与信号丢失恢复机制。
• 质保承诺：仅通过全部光学-电气联合测试的模块方可交付，并提供 12 个月功能性故障质保，覆盖相位解调失效、通道串扰、输出抖动超标等关键风险。

兼容性与升级路径

为确保 7702 8070-0102-35 在您的 Zygo 系统中精确复现原始性能，请务必核对以下技术细节：

• 硬件/固件：该卡适用于 Zygo 7702 机箱（非 7700），需确认背板版本与卡边缘连接器兼容（通常 Rev C 及以上）。早期 7700 系统无法供电或识别此卡。
• 配套组件：必须与 Zygo 原装激光头（如 7012-01-01）、稳频 HeNe 激光器（如 7005）及匹配电缆（如 8080-xxxx 系列）配合使用；第三方光学头可能导致信号幅值或相位偏移。
• 替代关系：Zygo 已停止 7702 系列生产，推荐迁移至 ZMI 或 VeriFire 平台。但 8070-0102-35 无直接硬件替代品；若仅需单轴，可评估 7012+7005+计数器方案，但多轴同步能力将受限。