MKS AX7670-60 02181035 | 宽量程真空测量单元 | 半导体与镀膜设备维保技术方案

描述

关键技术规格

• 产品型号: AX7670-60 02181035
• 制造商: MKS Instruments
• 所属系统: MKS 627B/628B 系列电容薄膜真空规配套控制器
• 测量范围: 取决于所连接的传感器（典型：0–1000 Torr，0–10 Torr，0–100 mTorr 等）
• 输出信号: 0–10 V DC 模拟输出（线性对应压力值），精度 ±0.25% of reading
• 供电电压: +24 V DC ±10%，最大功耗 15 W
• 传感器接口: 专用 9 针 D-sub（匹配 MKS 627B/628B 规格）
• 环境温度范围: 10°C 至 50°C（工作），0°C 至 60°C（存储）
• 温度补偿: 内置高精度热敏电阻网络，自动补偿传感器温漂
• 认证标准: CE, RoHS, FCC Class A

功能定位与应用场景分析

MKS AX7670-60 02181035 是 MKS Instruments 为其经典电容薄膜真空规（如 627B-10Torr、628B-1000Torr）设计的专用信号调理与控制单元。它主要用于解决在高精度真空工艺中“如何获得长期稳定、不受气体种类影响的压力读数”这一关键需求。与热偶规或皮拉尼规不同，电容薄膜规通过物理形变测量绝对压力，其输出与气体成分无关，而 AX7670-60 则负责将微弱的电容变化转换为高线性度的电压信号，并实施实时温度补偿，确保在工艺腔室温度波动时仍能维持 ±0.25% 的测量精度。

该控制器广泛应用于对过程重复性和洁净度要求极高的场景。由于其无移动部件、无耗材、抗污染能力强，成为半导体刻蚀、PVD/CVD 镀膜、OLED 蒸镀及科研真空系统的标准配置。尽管 MKS 后续推出了集成度更高的 937A 或 947A 系列数字控制器，但全球仍有大量基于 AX7670 的设备在产线上运行，其模块化设计也便于现场维护与更换。

典型应用场景包括：

• 场景一：用于半导体 PECVD 设备，配合 628B-1000Torr 规实时监控反应腔压力，确保薄膜沉积速率一致性。
• 场景二：作为 OLED 蒸镀机的关键监测单元，在 10⁻³ Torr 量程下精确控制有机材料升华速率。
• 场景三：用于已停产设备的紧急维保替换，02181035 为 AX7670-60 的 PCB 主板序列号，适用于 Rev B/C 硬件版本，可直接替换故障单元，无需重新校准传感器（前提是传感器未损坏）。

质量标准与测试流程

我们理解，在真空工艺中，一个漂移的压力读数可能导致整批晶圆报废或镀膜失效。因此，我们对每一块 AX7670-60 02181035 执行严格的多阶段验证：

• 外观与清洁：所有模块经 ESD 安全处理，检查 PCB 是否有助焊剂残留、电容鼓包或连接器氧化；D-sub 接口针脚使用精密探针检测接触电阻。
• 上机实测：模块连接至真实 MKS 627B-10Torr 传感器，在 20°C 恒温环境下进行 48 小时连续运行测试，记录零点漂移与满量程稳定性。
• 功能诊断：我们施加标准压力点（如 1 Torr、5 Torr、10 Torr），验证 0–10 V 输出是否符合线性公式（误差 ≤±0.25%）；同时测试过压保护、传感器断线报警及温度补偿有效性。
• 质保承诺：仅当模块通过全部性能测试（包括冷启动响应、长期漂移、噪声抑制）后方可出库，并提供 12 个月功能性质量保证，涵盖零点偏移、增益失准及通信中断等风险。

兼容性与升级路径

为确保 AX7670-60 02181035 100% 适配您的真空系统，我们的技术顾问提示您注意以下关键兼容性要点：

• 传感器匹配：该控制器仅兼容 MKS 627B 和 628B 系列电容薄膜规；不兼容 newer Baratron® 900/937 系列或第三方规。请确认您的传感器型号标签（如 “627B-10Torr”）。
• 接线定义：必须使用原厂屏蔽电缆（如 MKS P/N 73000-001），DB9 引脚定义为专用协议，不可与通用 RS232 混用。
• 替代关系：AX7670-60 已被 937A-60 数字控制器取代，后者支持 RS485 Modbus 输出和远程配置。若您的系统允许改造，可评估整体升级方案；若需快速恢复生产，则 AX7670-60 仍是最佳直接替换选择。