MKS 153D-26353 | 高精度电容薄膜真空规 | 可靠性验证与系统集成方案

描述

关键技术规格

• 产品型号: 153D-26353
• 制造商: MKS Instruments
• 所属系统: Baratron® 系列电容薄膜真空规（Capacitance Manometer）
• 测量范围: 0 至 10 Torr（绝对压力）
• 输出信号: 模拟 0–10 VDC（线性对应满量程），兼容标准 PLC/DAQ 输入
• 精度: ±0.25% of reading（典型值，25°C）
• 重复性: ≤ ±0.05% of full scale
• 工作温度: 0°C 至 +50°C（电子部件）；传感器头可耐受至 +150°C（短时）
• 电气接口: 15 针 D-sub（符合 MKS 标准引脚定义）
• 过程气体兼容性: 兼容 N₂、Ar、O₂、CF₄、SF₆ 等常见刻蚀/沉积气体（非腐蚀性）

功能定位与应用场景分析

MKS 153D-26353 是 MKS Instruments 针对半导体前道工艺中 中低真空区间（<10 Torr） 的高稳定性压力监测需求所设计的经典电容薄膜规解决方案。它主要用于解决传统热偶规或皮拉尼规在该量程内 非线性、气体依赖性强、长期漂移大 等痛点。通过直接测量压力引起的薄膜形变（与气体种类无关），153D-26353 提供了 气体无关性、高重复性与优异的长期稳定性，是等离子体刻蚀（如 CCP/ICP）、物理气相沉积（PVD）和原子层沉积（ALD）等对压力控制精度要求严苛工艺的核心传感元件。

典型应用场景包括：

• 场景一：作为 Lam Research、Applied Materials 或 TEL 刻蚀机腔体的主压力反馈传感器，用于闭环控制节流阀（Throttle Valve）以维持设定工艺压力。
• 场景二：集成于 OEM 设备制造商的真空子系统中，作为出厂标配的高可靠性压力监测单元。
• 场景三：用于替换已停产或性能退化的旧版 Baratron® 规（如 127A、627B 系列），在不更改机械接口的前提下提升测量精度与系统稳定性。

质量标准与测试流程

我们理解，一个不可靠的真空规不仅会导致工艺偏差，还可能引发整批晶圆报废。因此，我们建立了严格的质量检测流程，确保您收到的每一个 153D-26353 都功能完好、性能达标：

• 外观与清洁：所有备件均在 ISO Class 5 环境下进行专业清洁，检查传感器膜片窗口是否洁净、外壳无磕碰、电气接口针脚无氧化或弯曲。
• 上机实测：模块将被安装到 MKS 标准测试平台（含匹配的 153C 读出单元或兼容模拟输入卡），在 0.1、1.0、5.0、10.0 Torr 四个关键点进行 24 小时连续压力稳定性测试，记录漂移与噪声水平。
• 功能诊断：使用经 NIST 可溯源的标准真空计作为参考，对 0–10 V 输出信号进行满量程线性度验证，确保误差在 ±0.25% 以内；同时验证过压保护、零点恢复等内置功能。
• 质保承诺：只有通过全部测试的备件才会出库，并附带测试摘要报告，提供 12 个月功能性质量保证。

兼容性与升级路径

为确保 153D-26353 100% 适用于您的设备，我们的技术顾问提示您注意以下几个关键兼容性问题：

• 硬件/固件：请确认您的设备控制器（如 MC5、ePulse™ 或第三方 PLC）具备 0–10 V 高阻抗模拟输入通道，且采样分辨率 ≥ 12 bit，否则将无法发挥其高精度优势。
• 配套组件：此规需搭配 MKS 153C 系列读出电子盒 或等效模拟接口电路使用；若直接接入设备主板，请核对 D-sub 引脚定义是否与 MKS 标准一致（可提供引脚图）。
• 替代关系：153D-26353（0–10 Torr）是 153D 系列的标准量程型号。若您原使用 0–1 Torr（153D-26352）或 0–100 Torr（153D-26354）版本，请勿混用——量程不同将导致严重测量误差。