LEYBOLD TURBOVAC 361C | 涡轮分子泵控制器 | 用于高真空工艺的稳定运行与远程监控解决方案

描述

关键技术规格

• 产品型号: TURBOVAC 361C
• 制造商: LEYBOLD GmbH (Atlas Copco Group)
• 所属系统: LEYBOLD TURBOVAC i / iX 系列涡轮分子泵（如 TV 361 i, TV 551 iX 等）
• 适用泵型号: 最大支持至 TV 551（额定转速 90,000 rpm）
• 输入电源: 200–240 VAC ±10%, 50/60 Hz, 单相，最大功率 1.5 kW
• 控制方式: 无传感器矢量控制（Sensorless Vector Control），支持软启动与斜坡停机
• 通信接口:
  • 标准：RS-485 (Modbus RTU)
  • 可选模块：PROFIBUS DP, Ethernet/IP, TCP/IP (via optional COM interface)
• 监控参数: 转速、轴承温度（磁悬浮型）、振动（估算）、运行时间、故障代码
• 保护功能: 过温、过流、欠压、前级压力过高（需外接真空计）、不平衡停机
• 安装方式: 壁挂式或机柜安装，IP20 防护等级

功能定位与应用场景分析

LEYBOLD TURBOVAC 361C 是面向高真空与超高真空应用的智能泵控制器，其核心价值在于将传统“启停设备”转变为“可监控、可诊断、可集成”的工艺节点。在半导体刻蚀、质谱分析、镀膜或粒子加速器等场景中，真空度的稳定性直接决定工艺成败。若涡轮泵因电源波动、前级压力异常或内部故障突然停机，不仅导致批次报废，还可能引发交叉污染。TURBOVAC 361C 通过实时监测泵状态、执行预判性保护逻辑，并开放工业通信接口，使真空子系统无缝融入工厂自动化架构，实现从“被动响应”到“主动管理”的转变。

典型应用场景覆盖对真空连续性与数据可追溯性有严苛要求的高端制造与科研领域：

• 场景一：用于半导体 PVD/CVD 设备的主抽气系统，通过 PROFIBUS 将泵转速与温度实时上传至 MES，确保每批次工艺条件一致
• 场景二：作为实验室高分辨质谱仪的真空保障单元，在无人值守夜间运行中，自动检测前级压力异常并安全停泵，防止油返扩散
• 场景三：用于已服役10年以上的 LEYBOLD TV 361 i 系统维保替换，解决原装控制器电容老化、通信芯片失效或风扇停转问题，避免整泵报废

质量标准与测试流程

在真空工艺中，控制器故障可能导致数小时甚至数天的腔体烘烤与抽空重启。因此，我们对每一台 LEYBOLD TURBOVAC 361C 执行全功能闭环验证：

• 外观与清洁：设备外壳、散热片及内部电路板经专业清洁，检查风扇运转、电解电容无鼓包、继电器触点无烧蚀。
• 上机实测：连接真实 TURBOVAC i 泵（如 TV 361 i），在模拟前级压力（< 10 mbar）条件下，执行完整启停循环 ≥ 10 次，验证软启动平滑性与停机斜坡控制。
• 功能诊断：
  • 通过 Modbus 读取实时转速（应达 90,000 ±1% rpm）
  • 模拟高温故障，确认控制器触发安全停机并上报代码 “E12”
  • 验证通信模块（如 PROFIBUS）能否被 PLC 正确识别并读取状态字
• 质保承诺：仅当控制器通过电气性能、泵联动测试及通信诊断后，方可出库，并附带测试日志（含转速曲线与故障模拟记录），同时提供12个月功能性质量保证。

兼容性与升级路径

为确保 TURBOVAC 361C 与您的真空系统完全匹配，请核对以下关键信息：

• 泵型号匹配：361C 适用于 TURBOVAC i / iX 系列中 TV 361 至 TV 551 的泵体；不兼容老款机械轴承型 TV 360（需使用 TURBOVAC 360 控制器）。
• 通信配置：标准版仅含 RS-485；若需 PROFIBUS 或 Ethernet，必须确认设备已安装对应 COM 模块（标签含 “PB” 或 “ETH” 后缀）。
• 替代关系：TURBOVAC 361C 是当前主流型号；若系统已升级至新一代 TURBOVAC MAG W 系列，则需改用 TC 110 控制器，二者不兼容。