HP 5517B 激光干涉仪系统 – 精密测量核心，工业大脑的“眼睛”！

描述

HP/Agilent 5517B：这颗激光头，是惠普/安捷伦激光干涉仪系统里的“大当家”，性能直接拉满！测量精度：±0.5ppm，最大速度：40m/s，专为高精度测量和校准设计。波长：632.991372nm，激光类型：氦氖激光，是超精密加工和半导体行业的“定海神针”。

产品详细说明

HP 5517B 产品概述

要说精密测量，HP 5517B这个型号绝对是神话一样的存在。这玩意儿不是一个简单的激光器，它是惠普（后来的安捷伦，现在的是德科技）激光干涉仪系统的核心组件，也就是我们常说的激光头。它的主要任务，是产生一束高度稳定、波长精确的激光束，作为整个系统进行位移测量的“尺子”。这束激光的稳定性直接决定了整个系统的测量精度和可靠性。

HP 5517B在整个激光测量系统里，扮演的角色至关重要。它利用激光的干涉原理，将微小的位移变化转化为可被检测到的干涉条纹变化，再由系统进行计算，从而得到精确的位移数据。这个技术对于那些对精度有极高要求的领域来说，简直是救星。HP 5517B的设计就是为了在最严苛的工业环境下也能稳如泰山，它的稳定性和耐用性在业界是出了名的。这颗5517B不只是一个简单的激光器，它更是你超精密设备校准的坚实基础，有了它，你才能踏踏实实地把活儿干好。

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HP 5517B 技术规格

主要特点和优势

HP 5517B这颗激光头的优势，那都是实打实的，不是吹出来的。首先，它的超高精度是它最大的杀手锏。±0.5 ppm的测量精度，这意味着在1米距离上的测量误差不超过0.5微米，这种精度对于绝大多数应用来说，都是顶级的。它能实现如此高的精度，主要得益于其内置的稳频氦氖激光器 (Frequency-stabilized HeNe laser)，这种激光器的波长稳定性和一致性极高，是干涉测量精度的根本保障。

其次，它的高测量速度和大动态范围也是一绝。高达40m/s的最大测量速度，让它能轻松应对高速运动设备的实时测量和校准，不会因为速度过快而丢失数据。这块5517B还能与各种反射镜、分束镜等光学附件配合使用，实现直线度、垂直度、角度、旋转等多种几何参数的测量，功能非常强大。而且，它的坚固耐用设计也值得一提。作为工业级设备，它能在震动、温度变化等恶劣工况下稳定工作，确保了测量的可靠性。可以说，这颗5517B的性能，就是惠普/安捷伦这个老牌子最好的背书。它的设计理念就是“精准、稳定、可靠”，这也是为什么直到现在，还有那么多超精密设备制造商在用这颗激光头。

The HP 5517B laser head is a cornerstone of precision measurement, embodying the legacy of HP/Agilent/Keysight’s engineering excellence. Its core strength lies in its extraordinary accuracy, with a measurement uncertainty of just ±0.5 ppm. This precision is achieved through its highly stable, frequency-stabilized Helium-Neon (HeNe) laser source, which provides an exceptionally consistent and reliable wavelength reference for interferometric measurements. This capability is paramount for applications demanding sub-micron level positional accuracy.

Furthermore, the 5517B offers a high measurement speed of up to 40 m/s, making it suitable for dynamic real-time measurements and calibration of high-speed motion systems. Its modular design allows it to be integrated with a wide range of optical components, including linear mirrors, angular optics, and plane mirrors, to measure not only linear displacement but also angular motion, straightness, and perpendicularity. This versatility makes the HP 5517B a comprehensive solution for geometric error compensation of machine tools and CMMs (Coordinate-Measuring Machines). The unit is also built to be highly robust, ensuring reliable performance in demanding industrial environments where temperature fluctuations and mechanical vibrations are common. The 5517B remains an essential tool for maintaining the highest standards of precision in manufacturing and metrology.

应用领域

HP 5517B这颗激光头，它的应用场景，那都是最顶级的领域。它最常出现在以下几个地方：

• 超精密加工：在制造高精度机床、数控设备和CMM时，5517B是校准和补偿其几何误差的必备工具。它能确保机床的直线轴和旋转轴的精度达到最高水平。
• 半导体制造：在光刻机、晶圆检测设备等对运动精度要求极高的设备中，5517B用于对位移平台进行实时位置反馈和校准，确保曝光和检测的精度。
• 航空航天：在制造大型复杂零件时，5517B可以用来校准大型龙门机床或测量设备的几何精度，确保部件的尺寸和形位公差。
• 科学研究：在物理、光学、纳米技术等领域的研究中，5517B被广泛用于需要超高精度位移测量的实验平台和装置。
• 设备校准服务：许多专业的校准服务公司都使用HP 5517B作为其标准设备，为客户提供高精度的机床和设备校准服务。

相关产品

5517B作为激光干涉仪系统的核心，它需要很多“搭档”和配套产品，搞清楚它们的关系，才能把系统搭得更完美。

• 5519A/B：激光头电源/控制器，为5517B提供稳定的电源和控制信号。
• 55282A：直线测量光学套件，包括反射镜和分束镜，与5517B配合进行直线位移测量。
• 55281A：角度测量光学套件，用于测量角度。
• 55280A：平直度测量光学套件，用于测量平直度。
• E1735A：USB接口，用于将5517B的数据传输到电脑。
• VME-BUS模块：用于将激光头集成到自动化生产线中，实现实时闭环控制。
• 5518A：5517B的早期型号，性能略有差异。

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安装与维护

安装前准备: 安装HP 5517B前，你得先确认你的测量环境符合要求，例如温度、湿度和气流的稳定性，这对测量精度至关重要。要仔细检查激光头和光学元件，确保干净无尘，没有任何划痕。安装时要遵循手册指南，确保激光头和光学元件正确对齐，这是获得准确测量的关键。

维护建议: 对HP 5517B的日常维护主要是保持光学元件的清洁，避免灰尘和油污。定期使用专业的镜头纸和清洁液清洁激光头窗口和反射镜。要避免撞击和震动，确保激光头和光学元件的稳固安装。如果出现测量数据不稳定的情况，可以先检查环境因素，再检查光学元件是否干净，最后再考虑激光头本身的故障。