AMAT 0190-35874 | 半导体设备专用电缆组件 | 高可靠性信号传输解决方案
AMAT 0190-35874 | 半导体设备专用电缆组件 | 高可靠性信号传输解决方案 - 图片 2
AMAT 0190-35874 | 半导体设备专用电缆组件 | 高可靠性信号传输解决方案 - 图片 3

AMAT 0190-35874 | 半导体设备专用电缆组件 | 高可靠性信号传输解决方案

  • 型号: 0190-35874
  • 品牌: Applied Materials (AMAT)
  • 核心功能: 用于AMAT特定制程设备（如Endura, Centura或Producer系列）中，连接主控单元与工艺腔体（Chamber）的关键信号/电源传输电缆组件，确保射频（RF）、直流高压或精密传感器数据的无损传输。
  • 质保标准: 12个月质保，出库前经100%导通测试、绝缘耐压测试及阻抗一致性验证。
分类： SKU： AMAT 0190-35874

描述

关键技术规格

以下参数基于AMAT 0190系列电缆组件的通用工业标准及该特定型号在晶圆厂维护中的关键验证点提取，供工程师进行严格的硬件核对：
  • 产品型号: 0190-35874
  • 制造商: Applied Materials (或其认证二级供应商)
  • 所属系统: AMAT Endura / Centura / Producer 系列 PVD/CVD/ETCH 设备
  • 组件类型: 多功能屏蔽电缆组件 (Multi-conductor Shielded Cable Assembly)
  • 连接器类型: 定制多针圆形连接器 (如Amphenol/Turck定制款) 或 D-Sub高密度接口 (需根据具体应用核对)
  • 导体数量: 多芯复合结构 (包含信号线、电源线及屏蔽层，具体芯数依图纸而定)
  • 绝缘阻抗: ≥100 MΩ @ 500V DC (确保在高真空环境下无漏电风险)
  • 耐压等级: 1500V AC / 1min (线对地，线对线)，满足高压偏压（Bias）应用需求
  • 特性阻抗: 受控阻抗设计 (如50Ω或75Ω，针对RF信号线)，确保信号反射损耗最小化
  • 耐温范围: -20°C 至 +105°C (适应腔体加热及环境温度变化)
  • 洁净室等级: Class 10 (ISO 4) 包装，低析出（Low Outgassing）材料，符合SEMII F47标准

功能定位与应用场景分析

0190-35874是AMAT晶圆制造设备中维持工艺稳定性的“神经脉络”。其核心定位在于解决严苛真空与等离子体环境下的信号完整性与高压绝缘痛点。在PVD（物理气相沉积）或CVD（化学气相沉积）过程中，该电缆负责将射频电源的高频能量精准传输至阴极靶材，或将热电偶、压力传感器的微弱毫伏级信号无损回传至控制器。任何微小的阻抗不匹配、屏蔽层破损或绝缘下降，都可能导致工艺配方（Recipe）执行偏差、薄膜厚度不均（Non-uniformity），甚至引发打火（Arcing）损坏昂贵的腔体部件。对于追求极高良率（Yield）的晶圆厂，该组件的可靠性直接关联到WIP（在制品）的安全与设备uptime。
典型应用场景：
  • 场景一：PVD腔体射频电源连接
    用于连接Match Network（匹配网络）与Process Chamber内的电极，传输高频RF能量。要求电缆具备极低的插入损耗和完美的屏蔽效果，防止RF泄漏干扰周边敏感电子设备。
  • 场景二：高温工艺传感器信号采集
    在CVD或ETCH工艺中，连接腔体内部的热电偶（Thermocouple）或电容式压力计（Capacitance Manometer）。需确保在长期高温烘烤下，绝缘层不老化、信号不漂移，保证温度与压力控制的闭环精度。
  • 场景三：老旧机台预防性维护（PM）替换
    针对运行超过5年的AMAT机台，原电缆因反复弯折、真空暴露出现硬化或微裂纹。作为关键PM备件，用于在定期保养中主动更换，消除因线缆老化导致的间歇性故障（Intermittent Faults）。

质量标准与测试流程

我们深知，在半导体制造中，一根劣质电缆引发的非计划停机（Down Time）损失可达每小时数万美元，且可能导致整批晶圆报废。因此，我们建立了超越常规通断测试的电气性能验证流程，确保您收到的每一根0190-35874都符合Fab厂准入标准：
  • 外观与微观清洁：所有线缆组件均在Class 10洁净室环境下进行开箱检查。重点检查连接器针脚有无弯曲、氧化，绝缘外皮有无划痕或压痕，并经过无尘布擦拭与离子风除尘，确保无颗粒污染（Particle Free）。
  • 全通道导通与错位测试：使用高精度线缆测试仪，对每一根导线进行端到端导通验证，同时测试线间短路（Short）与错位（Miswire），确保Pin脚定义100%符合AMAT原厂图纸。
  • 高压绝缘与耐受力测试：模拟实际工况，对所有线芯与屏蔽层之间施加1500V AC电压持续1分钟，检测漏电流是否低于安全阈值（<1mA），确保在高压Bias工艺中绝无击穿风险。
  • 阻抗一致性与信号完整性验证：针对传输RF或高速信号的线对，使用网络分析仪抽样测试其特性阻抗与驻波比（VSWR），确保信号传输无反射、无衰减异常。只有通过全部电气与物理测试的备件才会被双层防静电袋密封出库，并提供12个月质保承诺。

兼容性与升级路径

为确保0190-35874能100%适用于您的特定机台配置，我们的技术顾问提示您在采购前必须核对以下几个关键兼容性问题，以避免因连接器细微差别导致的安装失败：
  • 设备序列号（Serial Number）范围：AMAT设备在不同生产批次中，同一型号的电缆连接器键位（Keying）或线长可能发生变更。请提供您的机台Serial Number，我们将核对出厂BOM表，确认该型号是否为您的机台原生配置。
  • 连接器修订版（Revision）：检查现有旧件连接器外壳上的Revision标记。部分0190系列线缆存在A/B版差异，新版可能改进了屏蔽接地方式或锁紧机制，需确认是否与机台接口物理兼容。
  • 长度与走线路径：虽然型号相同，但不同腔体位置（如Loadlock vs. Process Chamber）可能需要不同长度的线缆。请核实旧件长度标识，避免因线缆过短导致拉扯应力或过长造成洁净室内布线杂乱。

相关产品