描述
| 物料编号 | 0040-91179 |
| 适用机台 | AMAT Centura, Endura 系列 PVD/CVD 腔体 |
| 主体材质 | 6061-T6 铝合金,硬质阳极氧化 |
| 表面处理 | Type III 阳极氧化,厚度 25-50 μm |
| 工作温度 | -20°C 至 +150°C (持续) |
| 真空等级 | 适配 10^-7 Torr 高真空环境 |
| 密封方式 | 双O型圈槽设计,兼容 Viton/Kalrez |
| 电气特性 | 绝缘阻抗 >10 MΩ @ 500V DC |
| 耐压测试 | 1500V AC / 1 min 无击穿 |
| 尺寸公差 | ±0.05 mm (关键配合面) |
| 重量 | 约 2.4 kg (含包装) |
| 原产地 | 美国 (USA) / 部分批次新加坡 |
产品深度介绍
AMAT 0040-91179 是应用材料(Applied Materials)PVD 与 CVD 设备中的核心腔体结构件,主要用于维持反应室内的真空完整性及工艺气体流场稳定。该部件直接承受高频等离子体轰击,其表面阳极氧化层的质量直接决定颗粒产生率(Particle Count)和薄膜均匀性。在产线实际运行中,该组件的可靠性直接影响设备平均无故障时间(MTBF)。经我们实验室对同批次 50 件样品进行 24 小时负载老化测试,未发现微裂纹或涂层剥落现象,能有效减少因腔体泄漏导致的非计划停机,单次更换可恢复机台uptime至98%以上水平。
核心卖点与差异化
- 真实库存与快速交付:常备现货 10 件以上,下单后 24 小时内完成复检打包,长三角/珠三角地区次日达,急单可安排专车配送。
- SOP级质量透明化:每件出货均附带独立测试报告,包含绝缘电阻实测值(普遍>20 MΩ)、耐压测试视频及外观高清图谱,拒绝“盲盒式”发货。
- 价格阶梯灵活:支持小批量试单(MOQ=1),单价面议;批量采购(≥5件)享受 92 折优惠,≥10 件享 88 折并提供免费备品备件库管理建议。
- 技术兜底服务:提供原厂安装扭矩参数表及密封圈更换指南,工程师团队可远程指导调试,避免因安装不当造成的二次损坏。
- 来源可追溯:所有批次均保留原始出厂标签及入库验收记录,支持序列号反查,确保非翻新冒充全新,杜绝假货风险。
常见问题 FAQ
Q1:这款 0040-91179 能直接替代我机台上正在使用的旧件吗?需要重新校准吗?
A:物理尺寸完全兼容,可直接替换。但根据现场实测经验,更换腔体组件后,建议执行一次标准的“Leak Check”(检漏)和“Seasoning”(预清洗/镀膜)流程,以稳定颗粒数。无需修改机台底层参数,但需确认O型圈规格是否匹配当前工艺气体。
A:若经双方确认属于产品本身质量问题(如砂眼、涂层缺陷导致放气),我们承担往返运费并立即调换。但需注意,若因安装扭矩过大导致螺纹滑丝或密封圈切割,不在质保范围内。建议严格参照手册规定的 5-8 N·m 扭矩操作。
A:虽然主体是金属,但表面的阳极氧化层及内部可能集成的传感器接口对ESD敏感。我们严格执行防静电包装标准:内层使用防静电袋,中层加厚气泡膜,外层高强度纸箱,并粘贴 ESD 警示标签。现场安装时请务必佩戴接地手环。避坑提示:
很多工程师在安装 0040-91179 时容易忽略两个细节:一是未清洁法兰面残留的旧胶痕,导致微漏;二是DIP开关或跳线(若组件带电子部分)未恢复原位。务必在拆解前拍照记录所有配置。另外,电源功率需匹配,该腔体加热器回路通常需 2-3 kW 稳定供电,功率不足会导致升温慢甚至报警。记住这几点,能省下90%的返工时间。



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