AKT VTLE-1000-01 | 真空传输模块 | 半导体前道工艺集成解决方案
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AKT VTLE-1000-01 | 真空传输模块 | 半导体前道工艺集成解决方案

  • 型号: VTLE-1000-01
  • 品牌: AKT (Applied Kinetics Technology, 现为 Applied Materials 旗下子公司)
  • 核心功能: 真空传输载入模块（Vacuum Transfer Load Entry），用于在大气环境与真空工艺腔之间安全、洁净地传送大尺寸玻璃基板（如 Gen 8.5, 2200×2500 mm），集成机械手对接、真空锁控与传感器反馈。
  • 质保标准: 12个月质保，经全面测试
分类： SKU： AKT VTLE-1000-01

描述

关键技术规格

  • 产品型号: VTLE-1000-01
  • 制造商: AKT (Applied Materials)
  • 所属系统: 平板显示（FPD）或光伏（PV）制造设备前端自动化接口单元
  • 适用基板尺寸: 最大支持 Gen 8.5（2200 mm × 2500 mm）玻璃基板
  • 工作压力范围: 大气 ↔ 高真空（典型抽至 ≤1×10⁻⁵ Torr）
  • 传输方式: 集成线性电机或伺服驱动升降/平移机构，配合EFEM（设备前端模块）机械手
  • 接口标准: 符合 SEMI E157 / E158 自动化通信协议，支持 SECS/GEM
  • 密封结构: 金属密封（Metal Seal）或全氟醚橡胶（FFKM）O型圈，双腔隔离设计
  • 洁净等级: 内部表面 Ra ≤ 0.4 μm，满足 Class 10 洁净室要求
  • 控制接口: RS-485 / Ethernet IP，与主机设备PLC联动

功能定位与应用场景分析

AKT VTLE-1000-01 是面向高世代平板显示生产线的关键真空接口单元，其核心任务是在不破坏主工艺腔真空度的前提下，实现大尺寸玻璃基板从常压载具（FOUP 或 Cassette）到真空工艺腔（如 PECVD、Sputter 或 Anneal 腔）的高效、无污染转移。它解决了两个关键工程痛点：一是避免频繁破空导致的工艺腔污染与泵组寿命衰减；二是确保超薄玻璃（<0.5 mm）在传输过程中无应力变形或微粒脱落。
该模块通常作为整线设备的“咽喉”部件，其可靠性直接决定设备综合效率（OEE）。由于AKT设备生命周期长达10年以上，而原厂已逐步停止部分VTLE型号供应，VTLE-1000-01 成为维持产线稳定运行的重要维保资源。
  • 场景一：用于 G8.5 LCD 产线的 PECVD 设备前端，AKT VTLE-1000-01 与 EFEM 机械手协同，在30秒内完成基板载入、抽真空、传入工艺腔的全过程，日均循环超500次。
  • 场景二：在 OLED 蒸镀设备中，作为缓冲真空锁（Load Lock），隔离大气侧颗粒污染，保障有机材料沉积的洁净环境。
  • 场景三：针对已停产的AKT设备，VTLE-1000-01 是无法通过常规渠道采购的关键替换件，用于修复因密封失效、升降卡滞或传感器故障导致的设备宕机。

质量标准与测试流程

我们深知，一个真空传输模块的泄漏或机械卡死，可能导致整条价值数亿美元的显示产线停摆数日。因此，我们对每一台 AKT VTLE-1000-01 执行严格的物理与功能验证：
  • 外观与清洁：模块经氮气吹扫与无尘布擦拭，检查玻璃接触面无划伤、升降导轨无磨损，所有快换接头与波纹管无裂纹。
  • 上机实测：在模拟EFEM对接平台上，执行100次完整传输循环（含升降、平移、门阀开闭），监测电机电流波动与位置重复精度（±0.1 mm）。
  • 功能诊断：使用氦质谱检漏仪（Helium Leak Detector）对真空腔体进行整体检漏，泄漏率 ≤ 5×10⁻⁹ atm·cm³/s；同时验证压力传感器、位置开关及安全互锁信号的响应逻辑。
  • 质保承诺：仅当模块通过机械耐久性测试与真空密封验证后方可出库，并附带检漏报告与行程校准数据，提供12个月功能性故障质保。

兼容性与升级路径

为确保 AKT VTLE-1000-01 能与您的现有设备精确匹配，我们的技术顾问提示以下关键核对点：
  • 硬件/固件：需确认设备主控系统（如 Rockwell PLC 或 Beckhoff CX 系列）的 I/O 映射表与 VTLE-1000-01 的信号定义一致，特别是门阀使能、真空就绪和故障报警线序。
  • 配套组件：必须使用原厂或认证替代的升降皮带、导向轴承及真空规管。非标替换件可能导致同步失效或真空度超标。
  • 替代关系：VTLE-1000-01 属于 VTLE-1000 系列的标准配置，后续无直接升级型号。若设备平台已迁移至 AKT 新一代 VTLX 架构，则需整套更换接口单元。

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